需求內(nèi)容及合作目標(biāo)：

（1）擬解決的技術(shù)（項(xiàng)目）問(wèn)題

   本項(xiàng)目主要是申請(qǐng)建設(shè)6英寸MEMS產(chǎn)品試制工藝線，以期解決MEMS數(shù)字檢波器規(guī)模化生產(chǎn)的瓶頸，提升我國(guó)地震裝備研發(fā)制造能力。同時(shí)利用申請(qǐng)建設(shè)的6英寸MEMS工藝線，進(jìn)一步研發(fā)高精度MEMS慣性傳感器，用于航天航空、戰(zhàn)術(shù)和戰(zhàn)略慣性制導(dǎo)系統(tǒng)（IMU）中，對(duì)我國(guó)航空航天和國(guó)防工業(yè)做出支持和貢獻(xiàn)。

（2）預(yù)計(jì)解決的方向、方式

工藝線主要產(chǎn)品構(gòu)想：具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型結(jié)構(gòu)MEMS加速度傳感器，包括X型、E型梁、梳齒狀結(jié)構(gòu)。這些新型結(jié)構(gòu)的MEMS加速度傳感器具有結(jié)構(gòu)對(duì)稱性好、高階模態(tài)性能優(yōu)異，低頻響應(yīng)好等特點(diǎn)，能有效消除應(yīng)力和降低機(jī)械噪聲，提高檢測(cè)精確度和穩(wěn)定性，可以有效抗動(dòng)態(tài)沖擊。

現(xiàn)有工作基礎(chǔ)：

三門峽市成義電器有限公司成立于1996年10月，注冊(cè)資金3000萬(wàn)元，總資產(chǎn)8600萬(wàn)元。是一家民營(yíng)股份制企業(yè)，位于豫、晉、陜?nèi)〗唤绲拿髦槌鞘腥T峽市工業(yè)園區(qū)，占地20畝。主要經(jīng)營(yíng)物探儀器的制造銷售及租賃，自產(chǎn)產(chǎn)品進(jìn)出口業(yè)務(wù)。擁有一支專業(yè)從事研制和生產(chǎn)石油物探產(chǎn)品的技術(shù)隊(duì)伍，產(chǎn)品研發(fā)能力達(dá)到國(guó)內(nèi)一流水準(zhǔn)。產(chǎn)品制造方面擁有先進(jìn)的加工、檢測(cè)設(shè)備。