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服務(wù)類型: 檢測咨詢; 設(shè)備咨詢; 專家咨詢

服務(wù)需求

標題: 硅烷熱解法制區(qū)熔級多晶硅

服務(wù)類型

單位名稱: 信陽技術(shù)交易市場

電話: 19913769651

聯(lián)系人: 信陽市科技成果轉(zhuǎn)化促進中心

電子郵件: xyscgzhzx@163.com

傳真

聯(lián)系地址

郵政編碼: 464000

需求內(nèi)容: 需求內(nèi)容及預(yù)期目標：需要攻克硅烷CVD法制區(qū)熔級多晶硅技術(shù)難題，包括硅烷熱解爐及內(nèi)件構(gòu)造，提升產(chǎn)品質(zhì)量、降低能耗等。希望公司擁有硅烷CVD法制區(qū)熔級多晶硅核心技術(shù)，具有硅烷CVD爐的設(shè)計、制作、運行能力。預(yù)期目標就是能夠穩(wěn)定生產(chǎn)出區(qū)熔級多晶硅。現(xiàn)有工作基礎(chǔ)（包括已開展的工作和已投入資金）：目前已建成年產(chǎn)100噸多晶硅生產(chǎn)線，生產(chǎn)運行一年半。已投入5000萬元。主要的技術(shù)需求和預(yù)算： 1、硅烷CVD爐的設(shè)計和制作技術(shù) 硅烷CVD法與國內(nèi)普遍使用的改良西門子法不同，每根硅棒都有夾套，夾套大小、夾套與爐底盤的連接方式?jīng)Q定了后處理難易程度，也是決定產(chǎn)品質(zhì)量和能耗高低的關(guān)鍵，是區(qū)熔級多晶硅生產(chǎn)中最關(guān)鍵設(shè)備。 2、無定形硅的有效控制技術(shù) 硅烷性質(zhì)比三氯氫硅活潑得多，易分解產(chǎn)生無定形硅，形成的固體硅就會以粉狀，一般30-80nm大小，充斥于整個CVD爐的空腔中，粘附在硅棒上，內(nèi)件上和內(nèi)壁上。粘附在硅棒上將引起晶格改變，產(chǎn)生應(yīng)力。如果內(nèi)件和內(nèi)壁上的粘附塊二次粘附在硅棒上，就會引入金屬雜質(zhì)，反而影響硅棒的質(zhì)量。 3、穩(wěn)定、溫和控制硅棒生長技術(shù) 硅烷易分解，通常采用夾套冷卻，但是隨著硅棒生長，硅棒與夾套形成的環(huán)隙不斷縮小，氣體流動狀態(tài)發(fā)生改變，其中的傳熱傳質(zhì)也隨之改變，相應(yīng)的電流與電壓、硅烷流量、氫氣與硅烷濃度配比需不斷調(diào)整。鑒于硅烷生產(chǎn)多晶硅成本，需要成熟的一套或幾套硅烷流量及與氫氣配比和電流電壓隨反應(yīng)時間變化的參數(shù)。 4、硅棒后處理防污染技術(shù) 區(qū)熔級多晶硅除了生產(chǎn)工藝控制技術(shù)高，硅棒的后處理過程包括收割、搬運、包裝等過程的防污染控制依然是保證產(chǎn)品純度至關(guān)重要的一環(huán)。公司需要專業(yè)的多晶硅潔凈后處理防污染控制技術(shù)。預(yù)計再投入6000萬元。